由等離子體發(fā)生器稀有氣體形成的DBD等離子體不包含反應性粒子：
       等離子體發(fā)生器DBD等離子體是由2個放電電極中起碼一個被電介質(zhì)覆蓋而成的等離子體，在2個電極之間施加中頻高壓交流電，使電極與物質(zhì)或物質(zhì)與物質(zhì)之間的氣體形成放電擊穿。
       DBD是1種氣體放電，將絕緣性物質(zhì)放入放電空間。介電材料可包覆或懸掛。電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計形式多種多樣。在實際應用中，圓柱形電極結(jié)構(gòu)廣泛應用于各種化學反應器中，而平面電極結(jié)構(gòu)廣泛應用于工業(yè)聚合物、金屬薄膜和板材的改性接枝、表面張力的提高、清潔和親水改性。

       絕緣性物質(zhì)在放電過程中起著非常重要的作用，使放電均勻分布在整個放電空間中，形成穩(wěn)定均勻的大氣壓等離子體。與此同時，由于絕緣性材料的存在，放電時形成的壁電荷有效地限制了放電電流的無限增長，避免了高壓下的電弧放電和火花放電。等離子體發(fā)生器稀有氣體形成的DBD等離子體不包含反應顆粒。因此，當材料表面改性采用稀有氣體DBD時，表面基團的引入主要是由于等離子體作用后的材料放置在空氣中時，等離子體作用在材料表面形成的大分子自由基與空氣中的物質(zhì)結(jié)合而形成的。
       等離子體顆粒與表面原子或分子結(jié)合形成揮發(fā)性產(chǎn)物，從表面揮發(fā)，導致材料表面等離子體腐蝕。等離子體發(fā)生器改性技術(shù)在材料表面改性方面具有無污染的效果，是一項值得深入研究和廣闊應用前景的技術(shù)。等離子體發(fā)生器表面改性技術(shù)在材料科學研究和工業(yè)生產(chǎn)中肯定會發(fā)揮重要作用。