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TO封裝性能的提升離不開等離子表面處理工藝的應(yīng)用

TO封裝性能的提升離不開等離子表面處理工藝的應(yīng)用:
       TO是晶體管的形態(tài),早期晶體管大多采用同軸封裝,后來借用于光通信,稱為光通信,稱為TO封裝,即同軸封裝。目前同軸器件由于制造方便、低成本優(yōu)勢大,基本占據(jù)著熱門的光學(xué)器件市場應(yīng)用。
       在光電器件的開發(fā)和生產(chǎn)中,封裝往往占其成本的60%~90%,其中80%的制造成本來自組裝和封裝過程。因此,封裝在降低成本方面發(fā)揮著重要作用,并逐漸成為研究的熱點話題。
      TO封裝中存在的問題主要包括焊接分層、虛擬焊接或線路硬度不足,導(dǎo)致這些問題的罪魁禍?zhǔn)资倾U框架和芯片表面的污染物,主要是微粒污染、氧化層、有機殘留物等,這些現(xiàn)有的污染物使芯片和框架底板之間的銅線焊接不完整或虛擬焊接,如何解決微粒、氧化層等污染物,提高包裝質(zhì)量尤為重要。

        等離子表面處理主要通過活性plasma體對材料表面進行物理轟炸或化學(xué)反應(yīng)等單一或雙重效應(yīng),從而實現(xiàn)材料表面分子水平的污染物去除或改性。在封裝過程中,可以有效去除材料表面的有機殘留物、微顆粒污染和氧化薄層,提高工件表面的活性,避免引線鍵合分層或虛擬焊接。
       等離子表面處理工藝的應(yīng)用能夠大幅提高粘合和引線鍵合硬度的性能,還可以避免長期接觸引線框架引起的再次污染。

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