CRF等離子處理設(shè)備電源完整性電容退耦解釋:
       這種方法對(duì)于響應(yīng)進(jìn)步暫態(tài)電流、降低等離子處理設(shè)備電源分配系統(tǒng)阻抗都是非常有用的。在電路板制造過(guò)程中，大量的電容器通常被放置在負(fù)載芯片周?chē)瑥哪芰績(jī)?chǔ)存的角度解釋電容器的退耦原理。鑒于負(fù)載芯片內(nèi)部晶體管電平轉(zhuǎn)換速度極快，當(dāng)負(fù)載瞬態(tài)電流變化時(shí)，必須在短的時(shí)間內(nèi)為負(fù)載芯片提供滿(mǎn)意的電流。但是穩(wěn)壓電源不能很快響應(yīng)負(fù)載電流的變化，因而，I0電流不能立即滿(mǎn)足負(fù)載瞬態(tài)電流的要求，因而負(fù)載芯片的電壓會(huì)下降。但是，鑒于電容電壓與負(fù)載電壓相同，所以電容兩端都有電壓變化。就電容而言，電壓的變化不可避免地會(huì)產(chǎn)生電流。這時(shí)，電容會(huì)放電到負(fù)載上，電流Ic不再是0，電流供應(yīng)負(fù)載芯片。

      如果電容C滿(mǎn)足較大的要求，并且電壓變化很小，電容就能滿(mǎn)足較大的電流，滿(mǎn)足負(fù)載態(tài)電流的要求。等于把電能的一部分預(yù)先儲(chǔ)存起來(lái)，在需要負(fù)荷時(shí)就會(huì)釋放出來(lái)，或者說(shuō)，電容便是儲(chǔ)能元件。電力整機(jī)儲(chǔ)能電容的存在，可以迅速補(bǔ)充負(fù)載所消耗的能量，從而保證負(fù)載兩頭電壓不會(huì)發(fā)生過(guò)大的變化，這時(shí)電容所承擔(dān)的是部分電源角色。以能量?jī)?chǔ)存的觀點(diǎn)來(lái)理解等離子處理設(shè)備電源退耦，非常直觀易懂，但對(duì)電路規(guī)劃幫助不大。以阻抗的觀點(diǎn)認(rèn)識(shí)電容的退耦，可以讓我們?cè)陔娐芬?guī)劃中有章可循。在實(shí)際應(yīng)用中，在確定CRF等離子處理設(shè)備電源分配系統(tǒng)的去耦電容時(shí)，采用了阻抗的概念。