等離子體中存在以下物質。高速運動的電子；激活的中性原子、分子、原子團(自由基)；離子原子和分子；分子分離反應過程中產(chǎn)生的紫外線；未反應的分子、原子等。但物質仍然保持電中性。
      除氣體分子、離子和電子外，在其體內還存在電中性原子或原子團，它們受能量的激發(fā)狀態(tài)所激發(fā)而形成自由基，并由它發(fā)出光，其中，波的長度、能量的高低在它與物質表面相互作用時起著重要作用。由于這些自由基是電重型的，壽命長，離子體的數(shù)量比離子多，自由基在等離子體中起著重要的作用，自由基的作用主要表現(xiàn)在化學反應過程中能量傳遞的“活化”作用，激發(fā)狀態(tài)的自由基具有高能量，因此容易與物體表面分子結合形成新的自由基，新形成的自由基也處于不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，發(fā)生分解反應的可能性高，成為小分子的同時產(chǎn)生新的自由基另外，在自由基與物體表面分子結合的同時，釋放出大量的結合能量，這種能量引起了新的表面反應推進力，從而消除了物體表面的物質發(fā)生化學反應。
       

      一方面，電子對物體表面的沖擊可以促進對物體表面吸附的氣體分子的分解和解除，另一方面，大量的電子沖擊有利于化學反應。因為電子的質量非常小，所以比離子的運動要快得多，所以當?shù)入x子體處理時，電子到達物體表面的時間比離子早，并且使表面帶負電，這有利于引起進一步的反應。
通常指帶正電荷的陽離子的作用，陽離子有加速沖向帶負電荷表面的傾向，在這種情況下，物體表面獲得相當大的動能，足以去除附著在表面的粒子性物質，我們稱之為濺射現(xiàn)象，通過離子的沖擊作用，物體表面的化學反應
      紫外線具有很強的光能，可以斷裂和分解附著在物體表面的物質的分子鍵。另外，它還具有很強的滲透性，能穿過物體表面達數(shù)微米深。
      綜上所述，可以看出，等離子體清洗是利用等離子體的各種高能物質和活化作用，徹底剝離和去除附著在物體表面的污垢。